Bekanntmachung der Richtlinie zur Förderung von Projekten zum Thema „Forschung für neue Mikroelektronik (ForMikro 2.0)“

Die forschungsintensive Mikroelektronik und ihre Anwendungen sind branchenübergreifend Treiber von Fortschritt, Wettbewerb und Innovation. Basis dafür sind Wissen und Ergebnisse aus der erkenntnisorientierten Forschung, die häufig großes Potenzial für neue Anwendungen und Technologien in der Mikroelektronik haben. Dazu fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) derzeit auf Basis der ForMikro-Richtlinie 14 anspruchsvolle Forschungskooperationen, in denen ein in der Entwicklung frühzeitiger Austausch zwischen Hochschulen, Forschungseinrichtungen sowie Unternehmen, insbesondere kleine und mittlere Unternehmen (KMU) und Start-ups, stattfindet. Die erfolgreiche Zwischenevaluation aller Verbünde im Rahmen der Fachtagung „Mikroelektronik-Forschung in Deutschland: von den Grundlagen zur Anwendung“¹ zeigte erste Erfolge und eine breite positive Resonanz aus der Fachcommunity. Damit hat sich diese Maßnahme als Instrument zur Förderung der engen Kooperation zwischen Wissenschaft, Wirtschaft und Gesellschaft in Deutschland bewährt und erzeugt wichtige Impulse zur Stärkung der Mikroelektronik in Deutschland.

Aufgrund dessen soll die ForMikro-Maßnahme als Förderinstrument zum beschleunigten Transfer von Ergebnissen der grundlagennahen Forschung in die Kommerzialisierung neu aufgelegt werden. So sollen schon in einer frühen Forschungs- und Entwicklungsphase erste Verwertungspotenziale identifiziert und bereits während der Erforschung geschärft werden. Damit sollen Voraussetzungen geschaffen werden, um die Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit, Nachhaltigkeit, Vertrauenswürdigkeit und Sicherheit von Komponenten und Systemen zu steigern. Zudem sollen der wissenschaftliche Austausch und die Kooperation der beteiligten Partner durch eine Vernetzung untereinander als Teil dieser Richtlinie gestärkt werden.

Vor diesem Hintergrund beabsichtigt das BMBF, Forschungsprojekte zur Entwicklung neuer Elektronikkomponenten und -systeme zu fördern, die richtungsweisende Potenziale und Erfolge für die Mikroelektronik in Deutschland versprechen. Um die Innovationspipeline neuer Mikroelektronik gefüllt zu halten und neues Wissen in den Natur- und den Ingenieurswissenschaften für die Mikroelektronik der nächsten Generation zu erschließen, werden auf Basis dieser Richtlinie Hochschulen und außeruniversitäre Forschungseinrichtungen gefördert. Dabei stehen Themen im Fokus, die zwar noch nicht industriell erforscht werden, für die jedoch ein nachgewiesenes Interesse aus der Industrie vorliegt. Die Brücke zwischen Grundlagenforschung und industriegeführter Forschung in der Mikroelektronik wird somit ausgebaut. Darüber hinaus wird durch die Forschung an zukunftsweisenden Themen der Mikroelektronik ein Beitrag zur Stärkung der Fachkräftebasis in dieser Branche geleistet.

Diese Förderrichtlinie ist Teil des Rahmenprogramms „Mikroelektronik. Vertrauenswürdig und nachhaltig. Für Deutschland und Europa.“² und leistet einen wichtigen Beitrag zur „Zukunftsstrategie Forschung und Innovation“ der Bundesregierung.

Deutschlands Wirtschaftskraft und Wettbewerbsfähigkeit ist maßgeblich mit der Innovationsstärke der Forschungseinrichtungen und Hochschulen verknüpft. Damit die Industrie innovative Produkte, Prozesse und Dienstleistungen auf dem Markt anbieten und im internationalen Wettbewerb bestehen kann, ist ein regelmäßiger Zugang zu neusten Forschungs- und Entwicklungsergebnissen wie auch zu hochqualifizierten Fachkräften entscheidend. Starke Kooperationsstrukturen von Hochschulen und Forschungseinrichtungen mit Unternehmen führen zu einem funktionierenden Wissens- und Technologietransfer aus der Forschung in die Anwendung. Im Fokus der Förderung stehen eine offene Innovationskultur und die Wertschöpfungskette für die Elektronik der Zukunft in Deutschland, um die technologische Souveränität und internationale Wettbewerbsfähigkeit des Industriestandorts Deutschlands und Europas zu stärken.

1.1 Förderziel

Die Ziele dieser Förderrichtlinie sind

–

die Stärkung der Innovationskraft der Forschungslandschaft und der Anwendungsindustrie,

–

die Beschleunigung des Wissens- und Erkenntnistransfers aus der akademischen Forschung in die wirtschaftliche Nutzung und Verwertung,

–

die Überprüfung der Umsetzbarkeit grundlegender Forschungsergebnisse für eine wirtschaftliche Nutzung und Verwertung,

–

die Qualifizierung neuer Ansätze und Technologien für industriegetriebene Anschlussprojekte und eine wirtschaftliche Verwertung,

–

ein verbesserter Austausch zwischen Forschungseinrichtungen und Unternehmen sowie

–

die Förderung des wissenschaftlichen Nachwuchses und die Qualifizierung von Fachkräften.

Zur Untersuchung der Zielerreichung können unter anderem folgende Indikatoren herangezogen werden:

–

Anhebung der technologischen Reifegrade der erforschten Technologien im Hinblick auf die angestrebten Anwendungen; angestrebte Innovationshöhe des Gesamtvorhabens;

–

Demonstration der Forschungs- und Entwicklungsergebnisse;

–

Kennzahlen zur Bewertung der Leistungsfähigkeit und Energiesparsamkeit der entwickelten Demonstratoren;

–

deutsche und europäische Forschungs- und Industriekooperationen;

–

neue Forschungskooperationen und Lieferkettenbeziehungen;

–

Anzahl von Ausgründungen (Spin-Offs);

–

Ausbildung des wissenschaftlichen Nachwuchses durch Abschlussarbeiten (Bachelor und Master) und Pro­motionen;

–

„Transfer durch Köpfe“, d. h. Austausch von Personal, insbesondere wissenschaftlichem Nachwuchs;

–

Publikationsbeteiligungen;

–

breite exzellente Forschung (Wissenschaftsindex);

–

Patentanmeldungen und Lizensierungen.

Zur Erfassung der Zielerreichung sollen oben genannte Indikatoren von den Antragsstellern mit Blick auf ihre Messbarkeit ausformuliert werden. Dies wird bei der Bewilligung festgehalten sowie zu geeigneten Zeitpunkten erhoben (gegebenenfalls auch nach Abschluss des Vorhabens).

1.2 Zuwendungszweck

Um den Transfer neuartiger Ansätze und kreativer Ideen aus der erkenntnisorientierten Forschung in neue Technologien und Anwendungen der Mikroelektronik zu beschleunigen, werden Hochschulen und außeruniversitäre Forschungseinrichtungen in vorwettbewerblichen wissenschaftlichen Verbundvorhaben gefördert. In den geförderten Vorhaben soll ein konkretes Nutzungspotenzial herausgearbeitet werden und die Voraussetzung für gezielte weiterführende Innovationsprozesse, perspektivisch für eine industriegetriebene Weiterentwicklung und Verwertung, geschaffen werden. Zu diesem Zweck soll sich die Industrie in assoziierter Form an den Vorhaben beteiligen. Die Forschungsarbeiten dienen dazu, insbesondere die beteiligten Unternehmenspartner zu befähigen, das Potenzial und Risiko für eine Überführung in die wirtschaftliche Nutzung bewerten zu können.

Die Ergebnisse des geförderten Vorhabens dürfen nur in der Bundesrepublik Deutschland oder dem EWR³ und der Schweiz genutzt werden; Ausnahmen sind mit vorheriger schriftlicher Zustimmung der Bewilligungsbehörde möglich.

1.3 Rechtsgrundlagen

Der Bund gewährt die Zuwendungen nach Maßgabe dieser Förderrichtlinie, der §§ 23 und 44 der Bundeshaushaltsordnung (BHO) und den dazu erlassenen Verwaltungsvorschriften sowie den „Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Ausgabenbasis (AZA/​AZAP/​AZV)“ und/​oder der „Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Kostenbasis von Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft (AZK)“ des BMBF. Ein Anspruch auf Gewährung der Zuwendung besteht nicht. Vielmehr entscheidet die Bewilligungsbehörde aufgrund ihres pflichtgemäßen Ermessens im Rahmen der verfügbaren Haushaltsmittel.

Gegenstand der Förderung sind Forschungsaufwendungen im Rahmen vorwettbewerblicher wissenschaftlicher Verbundvorhaben. Dabei steht die enge fachliche Zusammenarbeit von Forschenden aus der erkenntnis- und der anwendungsorientierten Forschung zur Überprüfung der Umsetzbarkeit grundlegender Forschungsergebnisse in eine wirtschaftliche Nutzung und Verwertung im Mittelpunkt. Weiterhin muss das Interesse von Unternehmen an den Ergebnissen in Form einer finanziellen Beteiligung und gegebenenfalls weiteren Beteiligungsformen nachgewiesen werden, wie in Nummer 4.1 erläutert.

Wesentliches Ziel der Förderung ist eine Stärkung der Innovationskraft der Forschungslandschaft sowie der be­teiligten Anwendungsindustrie. Dies soll dadurch erreicht werden, dass der Transfer von grundlagenorientierten Forschungsergebnissen in die praktische Anwendung beschleunigt wird.

Es werden ausschließlich Vorhaben gefördert, die auf wesentliche Innovationen in der Mikro- und Nanoelektronik abzielen. Hierzu gehören insbesondere:

–

neuartige Open-Source-Werkzeuge für Entwurfs- und Designautomatisierung sowie Modellierung, zum Beispiel Künstliche Intelligenz (KI) für EDA und Design for Test;

–

neuartige Bauelemente, Schaltungsarchitekturen und Spezialprozessoren für Edge Computing, KI und Hoch­leistungsanwendungen, zum Beispiel neuromorphe Chips und intelligente Leistungselektronik;

–

neuartige, intelligente und vernetzte Sensorkonzepte, zum Beispiel neue Sensorprinzipien basierend auf Quanteneffekten;

–

zukunftsweisende Ansätze der Systemintegration sowie Konzepte der AVT und Fertigungsverfahren für vertrauenswürdige Elektronik, zum Beispiel split manufacturing;

–

innovative Materialsysteme und gegebenenfalls deren Skalierung für die Mikroelektronik, Leistungselektronik und Sensorik unter Beachtung von Nachhaltigkeitsaspekten (Effizienz, Produktion, Langlebigkeit, Recyclingfähigkeit, Substitution kritischer Materialien und Vermeidung seltener Erden);

–

vertrauenswürdige Elektronik für Hochfrequenzanwendungen der Kommunikationstechnologie und Sensorik, zum Beispiel Silizium-Photonik;

–

neue Konzepte für intelligente, effiziente Leistungselektroniksysteme;

–

neuartige Herstellungsprozesse und Metrologieverfahren für die Mikroelektronikproduktion;

–

innovative Ansätze für die Mikroelektronik auf Systemebene;

–

neuartige Testumgebungen und -verfahren für Prüfaufgaben und Zuverlässigkeitsanalysen;

mit nachgewiesenem Interesse von Unternehmen an den Ergebnissen und potenziell großer Breitenwirksamkeit. Die genannten Themenfelder sind nicht abschließend, sollten aber die Anwendungsfelder des Rahmenprogramms der Bundesregierung für Forschung und Innovation 2021 bis 2024: „Mikroelektronik. Vertrauenswürdig und nachhaltig. Für Deutschland und Europa.“ adressieren.

Bei allen Forschungsanwendungen kommt den Querschnittsthemen Nachhaltigkeit, Vertrauenswürdigkeit sowie Standardisierung eine hohe Bedeutung zu und diese sind bei der Planung der Vorhaben zu berücksichtigen. Charakteristisch für jedes Vorhaben ist, dass die der Technologie zu Grunde liegenden naturwissenschaftlichen Phänomene bereits erforscht sind und im Rahmen des Projekts erstmals die konkrete Nutzbarkeit für die industrielle Anwendung demonstriert wird. Ziel soll sein, dass die Ergebnisse aus dem Vorhaben als Basis für anschließende Verbund­forschung unter Einbeziehung von Unternehmen oder Entwicklungsarbeiten von Start-ups dienen. Der tatsächliche Nutzen, insbesondere im Vergleich zu bestehenden Technologien, ist differenziert darzulegen. Von einer Förderung ausgeschlossen sind Vorhaben ohne ausreichenden Bezug zu neuen Anwendungen und Technologien in der Mikro- und Nanoelektronik, beispielsweise in der Materialforschung, Photonik und Quantentechnologien zweiter Generation.

Die Arbeiten in den Forschungsvorhaben sollen vor allem:

–

neuartige, potenziell disruptive Forschungsthemen und -gebiete der Mikro- und Nanoelektronik auf internationalem Spitzenniveau mit hoher wissenschaftlicher und künftiger wirtschaftlicher Relevanz vorantreiben,

–

Forschung zur Mikro- und Nanoelektronik ermöglichen, die den aktuellen Stand der Wissenschaft und Technik deutlich übertrifft,

–

den Transfer grundlegender Forschungsergebnisse in die wirtschaftliche Nutzung und Verwertung zielgerichtet und effizient vorantreiben.

Nachwuchswissenschaftlerinnen und Nachwuchswissenschaftler werden explizit zur Teilnahme ermutigt.

Gefördert werden Verbundvorhaben, die sich an konkreten industriellen Anforderungen und Anwendungen orientieren und sich durch ein hohes wissenschaftlich-technisches Risiko sowie eine große potenzielle Breitenwirksamkeit auszeichnen.

Vorhaben der reinen Grundlagenforschung ohne weiterführende anwendungsbezogene Ansätze, der reinen Softwareentwicklung sowie Einzelvorhaben sind von der Förderung ausgenommen.

Für alle Vorhaben wird empfohlen, vor dem Stichtag bereits in einer frühen Skizzenphase Kontakt mit dem zustän­digen Projektträger aufzunehmen und die grundsätzliche Passfähigkeit des Vorhabens unter Berücksichtigung der Förderkriterien zu erörtern.

Antragsberechtigt sind Universitäten, außeruniversitäre Forschungseinrichtungen und Hochschulen mit ausgewiesener Expertise im Bereich der Mikroelektronik. Eine koordinierende Stelle ist im Verbundvorhaben von mehreren Forschungseinrichtungen und Hochschulen zu benennen. Zum Zeitpunkt der Auszahlung einer gewährten Zuwendung wird das Vorhandensein einer sonstigen Einrichtung, die der nichtwirtschaftlichen Tätigkeit des Zuwendungsempfängers dient (Forschungseinrichtung, außeruniversitäre Forschungseinrichtung, Landes- und Bundeseinrichtung), in Deutschland verlangt. Einrichtungen, die ausschließlich wirtschaftlich tätig sind, sind nicht antragsberechtigt. Übt ein und dieselbe Einrichtung sowohl wirtschaftliche als auch nichtwirtschaftliche Tätigkeiten aus, ist sie antrags­berechtigt, wenn die nichtwirtschaftlichen und die wirtschaftlichen Tätigkeiten und ihre Kosten, Finanzierung und Erlöse klar voneinander getrennt werden können, sodass keine Gefahr der Quersubventionierung der wirtschaftlichen Tätigkeit besteht. Die Förderung wird ausschließlich für nichtwirtschaftliche Tätigkeiten im Sinne des Artikel 107 AEUV⁴ gewährt. Die Vorgaben des EU-Beihilfenrechts mit Verweis auf die Nummer 2.1.1 (insbesondere Randnummern 18 und 20) des Unionsrahmens für staatliche Beihilfen zur Förderung von Forschung, Entwicklung und Innovation (ABl. C 414 vom 28.10.2022, S. 1) sind zu beachten. Das Forschungsvorhaben ist in der Bundesrepublik Deutschland durchzuführen.

Das BMBF ist bestrebt, den Anteil der Hochschulen für angewandte Wissenschaften in der Forschungsförderung zu erhöhen. Hochschulen, Fachhochschulen und technische Hochschulen sind deshalb besonders aufgefordert, sich an den Vorhaben zu beteiligen.

Forschungseinrichtungen, die von Bund und/​oder Ländern grundfinanziert werden, können neben ihrer institutionellen Förderung nur unter bestimmten Voraussetzungen eine Projektförderung für ihre zusätzlichen projektbedingten Ausgaben beziehungsweise Kosten bewilligt bekommen.

Zu den Bedingungen, wann eine staatliche Beihilfe vorliegt/​nicht vorliegt und in welchem Umfang beihilfefrei gefördert werden kann, siehe FuEuI-Unionsrahmen.⁵

Die Forschungsaufgaben und -ziele müssen den Stand der Wissenschaft und Technik deutlich übertreffen und ein hohes wissenschaftlich-technisches Risiko aufweisen. Eine Zwischenbewertung der Vorhaben ist nach Ablauf der Hälfte der Laufzeit (nach zwei Jahren) vorgesehen.

4.1 Industriebeteiligung

Voraussetzung für die Förderung der beteiligten Forschungseinrichtungen und Hochschulen ist eine finanzielle Be­teiligung der Industrie in Höhe von mindestens 20 % der Gesamtmittel des Verbundvorhabens (förderfähige Aus­gaben/​Kosten ohne Projektpauschale). Bei der Förderung von Hochschulen wird auf die förderfähigen Ausgaben eine Projektpauschale in Höhe von 20 % gewährt. Am Vorhaben müssen mindestens zwei Unternehmen beteiligt sein. Die Unternehmen können die finanzielle Beteiligung individuell untereinander aufteilen. Diese industrielle Beteiligung muss im Rahmen der Skizzeneinreichung über jeweils einen LOI nachgewiesen werden. In diesem ist die konkrete prozentuale finanzielle Beteiligung an den Gesamtkosten des Verbundvorhabens zu benennen. Bei Antragseinreichung müssen dann konkrete Verträge zwischen den Forschungspartnern und der Industrie vorliegen.

Neben der notwendigen finanziellen Beteiligung mind. zweier Unternehmen am Vorhaben kann eine weitere Industriebeteiligung das Interesse an den Forschungsergebnissen nachweisen. Diese kann in Form von:

–

zusätzlicher finanzieller Beteiligung (über die geforderten 20 % Finanzierung hinaus; als Mittel Dritter ohne konkreten Leistungsaustausch);

–

personeller Beteiligung auf eigene Kosten (zum Beispiel Austausch von Mitarbeitenden, Übernahme von Arbeitspaketen);

–

Zugang zu Daten, Informationen, Infrastruktur oder Ausrüstung;

–

Unterstützung bei der Erstellung von Anforderungsprofilen;

–

einem Industriebeirat zum Vorhaben;

oder über äquivalente Maßnahmen erfolgen. Verbindliche Angaben der industriellen Beteiligung sind in der Skizze im Finanzierungsplan darzustellen. Eine ausführliche Darstellung muss als Anhang zur Skizze in Form eines LOI hinzugefügt werden. In diesem ist darzustellen, welche konkreten Unterstützungsleistungen das Unternehmen innerhalb des Projekts verbindlich leistet sowie eine Bewertung der Zielstellungen/​-parameter des geplanten Vorhabens und die Benennung der Anwendungsgebiete/​Märkte, die bei Erfolg des Vorhabens adressiert werden können. Beiträge/​Unterstützungsleistungen zur Verwertung, zum Beispiel Erstellung von Vermarktungskonzepten oder Marktanalysen, können nicht angeführt werden. Eine Förderung der Unternehmen selbst ist nicht vorgesehen.

4.2 Anschlussfähigkeit und Zwischenbewertung

Die wissenschaftlich-technische Anschlussfähigkeit der Projektergebnisse an den geförderten Forschungsinstitutionen ist in jedem Fall sicher zu stellen. Dies kann beispielsweise in Form von Veröffentlichungen, Lehrveranstaltungen oder weiterführenden Forschungsprojekten realisiert werden.

Die wirtschaftliche Anschlussfähigkeit der Ergebnisse soll während der Projektlaufzeit überprüft werden. Dazu ist zur Mitte der Projektlaufzeit ein zentraler Meilenstein mit Kriterien zur Fortführung bzw. zum Abbruch der Vorhaben zu definieren; ein besonderer Fokus soll dabei auf dem Innovationspotenzial, der Umsetzbarkeit und Weiterqualifizierung für weiterführende Innovationsprozesse liegen. Die Bewertung des Projektfortschritts erfolgt im Rahmen einer gemeinsamen, öffentlichen Veranstaltung aller durch diese Maßnahme geförderten Vorhaben unter Einbeziehung von Fachgutachtern und der Unternehmenspartner. Stellt sich dabei heraus, dass die Ziele des Vorhabens nicht wie ursprünglich geplant erreicht werden können, kann ein Abbruch des Vorhabens oder eine Verkürzung der Laufzeit erfolgen.

4.3 Sonstiges

Der Zuwendungsempfänger muss den schriftlichen Antrag mit allen erforderlichen Inhalten vor Beginn der Arbeiten für das Vorhaben oder die Tätigkeit gestellt haben und darf bis zum Zeitpunkt einer Gewährung der Förderung nicht mit den Arbeiten für das Vorhaben beginnen.

Alle Zuwendungsempfänger, auch Forschungseinrichtungen im Sinne von Artikel 2 (Nummer 83) AGVO, stellen sicher, dass keine indirekten (mittelbaren) Beihilfen an Unternehmen fließen. Dazu sind die Bestimmungen von Nummer 2.2 des FuEuI-Unionsrahmens zu beachten.

Die Forschungspartner eines Verbundvorhabens regeln ihre Zusammenarbeit mit der beteiligten Industrie in einer schriftlichen Kooperationsvereinbarung. Vor der Förderentscheidung über ein Verbundprojekt muss eine grundsätz­liche Übereinkunft über weitere vom BMBF vorgegebene Kriterien nachgewiesen werden (vgl. BMBF-Vordruck Nr. 0110).⁶

Im Rahmen der Projektsteuerung und -evaluierung ist die Durchführung von Statusseminaren und Netzwerktreffen vorgesehen. Projektteilnehmer sind verpflichtet, sich an begleitenden und evaluierenden Maßnahmen zu beteiligen, Informationen für die Bewertung des Erfolgs der Fördermaßnahme bereitzustellen und unter Wahrung ihrer Geschäftsgeheimnisse einen institutsübergreifenden, intensiven Erfahrungsaustausch aktiv mitzugestalten.

Antragsteller sollen sich – auch im eigenen Interesse – im Umfeld des national beabsichtigten Vorhabens mit dem EU-Rahmenprogramm für Forschung und Innovation vertraut machen. Sie sollen prüfen, ob das beabsichtigte Vorhaben spezifische europäische Komponenten aufweist und damit eine ausschließliche EU-Förderung möglich ist. Weiterhin ist zu prüfen, inwieweit im Umfeld des national beabsichtigten Vorhabens ergänzend ein Förderantrag bei der EU gestellt werden kann. Das Ergebnis der Prüfungen soll im nationalen Förderantrag kurz dargestellt werden.

Die Zuwendungen werden im Wege der Projektförderung als nicht zurückzahlbarer Zuschuss gewährt.

Zuwendungsfähig sind Ausgaben bzw. Kosten für Personal, Verbrauchsmaterialien, Reisetätigkeiten und gegebenenfalls die Vergabe von Aufträgen. Darüber hinaus sind in begründeten Ausnahmefällen Ausgaben bzw. Kosten für Investitionen förderwürdig.

Allgemeine Hinweise zu zuwendungsfähigen Ausgaben bzw. Kosten können den Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Ausgabenbasis (AZA/​AZAP/​AZV), den Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Kostenbasis von Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft (AZK) sowie dem Merkblatt Vorkalkulation für Zuwendungen auf Kostenbasis (AZK Finan­zierung) entnommen werden. Sämtliche Unterlagen sind zu finden unter:

https:/​/​foerderportal.bund.de/​easy/​easy_​index.php?auswahl=easy_​formulare&formularschrank=bmbf 

Bemessungsgrundlage für Zuwendungen an Hochschulen, Forschungs- und Wissenschaftseinrichtungen und vergleichbare Institutionen, die nicht in den Bereich der wirtschaftlichen Tätigkeiten fallen, sind die zuwendungsfähigen projektbezogenen Ausgaben (bei Helmholtz-Zentren – HZ – und der Fraunhofer-Gesellschaft – FhG – die zuwendungsfähigen projektbezogenen Kosten), die unter Berücksichtigung der beihilferechtlichen Vorgaben individuell bis zu 80 % gefördert werden können. Die zugesagten monetären Beteiligungen der industriellen Partner müssen als Drittmittel angegeben werden.

Bei nichtwirtschaftlichen Forschungsvorhaben an Hochschulen und Universitätskliniken wird zusätzlich zu den zuwendungsfähigen Ausgaben eine Projektpauschale in Höhe von 20 % gewährt.

Die zuwendungsfähigen Ausgaben/​Kosten richten sich nach Nummer 4.1 dieser Richtlinie und den „Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Ausgabenbasis (AZA/​AZAP/​AZV)“ und/​oder den „Richtlinien für Zuwendungsanträge auf Kostenbasis von Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft (AZK)“ des BMBF.

Projekte mit einer Verbundförderquote durch den Zuwendungsgeber von maximal 80 % werden als prioritär beurteilt. Eine höhere Verbundförderquote als 80 % führt zum formalen Ausschluss.

Förderfähig sind Ausgaben/​Kosten, welche im Förderzeitraum dazu dienen, den geplanten Forschungsprozess beziehungsweise die Ergebnisse der Öffentlichkeit zugänglich zu machen und über diese mit der Gesellschaft in den Austausch zu gehen. Die Wissenschaftskommunikation ist die allgemeinverständliche, dialogorientierte Kommunikation und Vermittlung von Forschung und wissenschaftlichen Inhalten an Zielgruppen außerhalb der Wissenschaft.⁷

Die Förderdauer beträgt in der Regel vier Jahre.

Bestandteil eines Zuwendungsbescheids auf Kostenbasis werden grundsätzlich die „Nebenbestimmungen für Zu­wendungen auf Kostenbasis des Bundesministeriums für Bildung und Forschung an gewerbliche Unternehmen für Forschungs- und Entwicklungsvorhaben“ (NKBF 2017)⁸.

Bestandteil eines Zuwendungsbescheids auf Ausgabenbasis werden grundsätzlich die „Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Ausgabenbasis des Bundesministeriums für Bildung und Forschung zur Projektförderung“ (NABF)⁹ sowie die „Besonderen Nebenbestimmungen für den Abruf von Zuwendungen im mittelbaren Abrufverfahren im Geschäftsbereich des Bundesministeriums für Bildung und Forschung“ (BNBest-mittelbarer Abruf-BMBF), sofern die Zuwendungsmittel im sogenannten Abrufverfahren bereitgestellt werden.

Zur Durchführung von Erfolgskontrollen im Sinne von Verwaltungsvorschrift Nummer 11a zu § 44 BHO sind die Zuwendungsempfänger verpflichtet, die für die Erfolgskontrolle notwendigen Daten dem BMBF oder den damit be­auftragten Institutionen zeitnah zur Verfügung zu stellen. Die Informationen werden ausschließlich im Rahmen der Begleitforschung und der gegebenenfalls folgenden Evaluation verwendet, vertraulich behandelt und so anonymisiert veröffentlicht, dass ein Rückschluss auf einzelne Personen oder Organisationen nicht möglich ist.

Wenn der Zuwendungsempfänger seine aus dem Forschungsvorhaben resultierenden Ergebnisse als Beitrag in einer wissenschaftlichen Zeitschrift veröffentlicht, so soll dies so erfolgen, dass der Öffentlichkeit der unentgeltliche elektronische Zugriff (Open Access) auf den Beitrag möglich ist. Dies kann dadurch erfolgen, dass der Beitrag in einer der Öffentlichkeit unentgeltlich zugänglichen elektronischen Zeitschrift veröffentlicht wird. Erscheint der Beitrag zunächst nicht in einer der Öffentlichkeit unentgeltlich elektronisch zugänglichen Zeitschrift, so soll der Beitrag – gegebenenfalls nach Ablauf einer angemessenen Frist (Embargofrist) – der Öffentlichkeit unentgeltlich elektronisch zugänglich gemacht werden (Zweitveröffentlichung). Im Fall der Zweitveröffentlichung soll die Embargofrist zwölf Monate nicht überschreiten. Das BMBF begrüßt ausdrücklich die Open-Access-Zweitveröffentlichung von aus dem Vorhaben resultierenden wissenschaftlichen Monographien.

Zuwendungsempfänger sind angehalten, geeignete Maßnahmen zur Wissenschaftskommunikation im Zusammenhang mit ihrem Forschungsprozess und den Forschungsergebnissen einzuplanen und darzulegen.

Bei Verbundvorhaben sollen die Verbundpartner eine gemeinsame Strategie zur Wissenschaftskommunikation entwickeln.

7.1 Einschaltung eines Projektträgers, Antragsunterlagen, sonstige Unterlagen und Nutzung des elektronischen Antragssystems

Mit der Abwicklung der Fördermaßnahme hat das BMBF derzeit folgenden Projektträger beauftragt:

VDI/​VDE Innovation + Technik GmbH
Projektträger „Elektronik und autonomes Fahren; Supercomputing“ des BMBF
Steinplatz 1
10623 Berlin 

Zentrale Ansprechpartner sind:

Frau Dr. Vera Fiehler
Frau Dr. Anett Richter

Telefon: + 49 (0) 351 486797-50
Telefax: + 49 (0) 351 486797-49
E-Mail: Formikro@vdivde-it.de 

Die VDI/​VDE Innovation + Technik GmbH ist außerdem Ansprechpartner für alle Fragen zur Durchführung der Fördermaßnahme.

Soweit sich hierzu Änderungen ergeben, wird dies im Bundesanzeiger oder in anderer geeigneter Weise bekannt gegeben.

Vordrucke für Richtlinien, Merkblätter, Hinweise und Nebenbestimmungen können unter der Internetadresse https:/​/​vdivde-it.de/​formulare-fuer-foerderprojekte und unter https:/​/​foerderportal.bund.de/​ abgerufen oder unmittelbar beim oben angegebenen Projektträger angefordert werden.

Zur Erstellung von Projektskizzen und förmlichen Förderanträgen ist das elektronische Antragssystem „easy-Online“ zu nutzen
(https:/​/​foerderportal.bund.de/​easyonline/​reflink.jsf?m=FORMIKRO_​2G&b=FORMIKRO_​20-SKIZZE&t=SKI).
Es besteht die Möglichkeit, den zwingend schriftlich einzureichenden Antrag in elektronischer Form über dieses Portal einzureichen. Der elektronischen Form genügt ein elektronisches Dokument, das mit einer qualifizierten elektro­nischen Signatur versehen ist.

7.2 Zweistufiges Antragsverfahren

Das Antragsverfahren ist zweistufig angelegt. In der ersten Verfahrensstufe reicht der Koordinator eine Projektskizze in deutscher Sprache beim zuständigen Projektträger ein. Im Anschluss werden die Antragsteller gegebenenfalls zur Vorstellung der Skizzeninhalte in Form einer Präsentation aufgefordert. Die Entscheidung zur Weiterverfolgung der Projektskizze wird entsprechend der in Nummer 7.2.1 benannten Kriterien gefällt. Ausschließlich die zur Weiter­verfolgung ausgewählten Vorhaben werden in der zweiten Verfahrensstufe schriftlich zur Einreichung weiterer Antragsunterlagen aufgefordert (Nummer 7.2.2).

7.2.1 Vorlage und Auswahl von Projektskizzen (Verfahrensstufe 1)

Um die Skizzenauswahl zielgerichtet vorbereiten zu können, ist eine Registrierung der Interessenten erforderlich. Die Registrierung ist ab der Veröffentlichung der Förderbekanntmachung bis zum Stichtag zur Einreichung der Projektskizzen unter:

www.elektronikforschung.de/​foerderung/​bekanntmachungen/​formikro2

möglich. Registrierte Interessenten müssen nicht zwingend eine Projektskizze einreichen. Eine Skizzeneinreichung ist jedoch nur nach der Registrierung möglich. 

Nach der Registrierung ist in der ersten Verfahrensstufe dem Projektträger VDI/​VDE Innovation + Technik GmbH

eine Projektskizze in deutscher Sprache und in elektronischer Form vorzulegen.

Die Vorlagefrist gilt nicht als Ausschlussfrist, Projektskizzen, die nach dem oben angegebenen Zeitpunkt eingehen, können aber möglicherweise nicht mehr berücksichtigt werden.

Die Projektskizze ist unter Verwendung des elektronischen Antragssystems „easy-Online“ beim BMBF unter der Fördermaßnahme „Forschung für neue Mikroelektronik 2“ einzureichen
(https:/​/​foerderportal.bund.de/​easyonline/​reflink.jsf?m=FORMIKRO_​2G&b=FORMIKRO_​20-SKIZZE&t=SKI).

Die Skizze darf einen Umfang von 15 DIN-A4-Seiten nicht überschreiten (Schriftart Arial, Schriftgröße mindestens 10 Punkt, mindestens 1,15-facher Zeilenabstand, Rand mindestens 2 cm). Das Deckblatt sowie eventuelle Verzeichnisse und das Beteiligungskonzept der Industrie (Anhang) zählen nicht dazu. Projektskizzen, die diese Vorgaben nicht erfüllen, können von der Bewertung ausgeschlossen und ohne weitere Begründung abgelehnt werden.

Die Förderquote für die Projekte beträgt grundsätzlich maximal 80 %. Es wird ein finanzieller Anteil der Industrie an den geförderten Projekten in Höhe von insgesamt mindestens 20 % der Summe aller zuwendungsfähigen Ausgaben/​Kosten (exklusive der Projektpauschale bei Hochschulen) erwartet. Bei höherer finanzieller Beteiligung durch die Industrie wird die Förderquote entsprechend reduziert. Der von der Industrie finanzierte Eigenanteil muss durch eine verbindliche Finanzierungszusage belegt werden (Inhalt des LOIs). Hierdurch soll ein nachhaltiges Interesse an der Bildung einer auf Langfristigkeit ausgerichteten Kooperation bekräftigt werden.

Die Förderung setzt eine positive Begutachtung der Ergebnisse voraus. Grundlage dafür ist die Darstellung der eigenen Forschungskompetenz und -kapazität sowie deren Nutzbarkeit für die Industrie. Darauf aufbauend wird die Transferstrategie entwickelt, welche insbesondere auf die Art und Weise der vorgesehenen Zusammenarbeit zwischen Wissenschaft, Wirtschaft und Gesellschaft, die beabsichtigte Stärkung der Innovationsfähigkeit, insbesondere von jungen KMU, sowie die Fachkräftesicherung eingeht. Außerdem sind mögliche Ergänzungen der Partnerstruktur sowie die Organisation und das Management der Zusammenarbeit darzustellen. Insgesamt soll ein Projekt die umfassende Bearbeitung des gewählten Innovationsfeldes beinhalten.

Die Projektskizze ist folgendermaßen zu gliedern:

0.

Deckblatt mit Kontaktdaten (Name, Adresse, Telefon, E-Mail-Adresse) der Einreichenden, Laufzeit des Vorhabens, Tabelle „Adressen und Ansprechperson der Verbundpartner“, Tabelle „Überschlägige Abschätzung von Gesamtkosten und Förderbedarf“ (einzeln nach Verbundpartnern, Angaben zur koordinierenden Stelle und Benennung des Koordinators);

1.

Zusammenfassung des Projektvorschlags (maximal eine Seite: Titel, Akronym, Ziele, Lösungsweg, Zusammenarbeit im Verbund und mit den Industrieunternehmen, Darstellung der Anschlussfähigkeit bzw. Verwertung der Ergebnisse);

2.

Darstellung des Vorhabens (Motivation, Thema und Zielsetzung des Vorhabens unter Benennung konkreter Zielparameter);

3.

Darstellung des Lösungsansatzes, Gegenüberstellung zum Stand von Wissenschaft und Technik, Neuheit des Lösungsansatzes, Darstellung antizipierter Kritikpunkte in der Begutachtung, Abgrenzung von anderen auf nationaler und EU-Ebene geförderten Projekten, Patentlage;

4.

Darstellung der Zusammenarbeit zwischen den Forschungspartnern aus der erkenntnis- und der anwendungsorientierten Forschung;

5.

Kurzfassung des Beteiligungskonzepts der Industrie, eine ausführliche Darstellung kann als Anhang ausgeführt werden (siehe auch Nummer 4.1);

6.

Notwendigkeit der Zuwendung: Benennung konkreter wissenschaftlich-technischer Risiken mit Begründung der Notwendigkeit staatlicher Förderung;

7.

Kurzdarstellung der

a)

beantragenden Einrichtung und Nachweis über die vorhandene Expertise auf dem Gebiet der Mikro- und Nanoelektronik (im Fall einer gruppenübergreifenden Skizze für alle Forschungsgruppen)

b)

beteiligten/​assoziierten Unternehmen;

8.

Arbeits- und Zeitplan mit Ressourcenansätzen, Benennung eines zentralen Meilensteins nach der Hälfte der Laufzeit mit Erfüllungskriterien, Projektstruktur mit Arbeitspaketen aller Beteiligten (gegebenenfalls auch Industrie­unternehmen);

9.

Finanzierungsplan: grobes finanzielles Mengengerüst mit tabellarischer Finanzierungsübersicht (Angabe der Ausgaben-/​Kostenarten und Personenmonate; gegebenenfalls finanzielle Beteiligung der Unternehmen);

10.

Verwertungsplan (wissenschaftliche und technische Ergebnisverwertung für die im Verbund angestrebten Ziele am Standort Deutschland oder dem EWR und der Schweiz, Anschlussfähigkeit und Anwendungspotenziale);

11.

Fördermöglichkeiten im internationalen und europäischen Umfeld;

12.

Anhang mit dem Konzept der Industriebeteiligung aller Partner (zählt nicht zur Seitenzahl dazu).

Das fachlich beurteilbare Konzept der Industriebeteiligung muss auch eine grobe Finanzplanung beinhalten. Im Konzept der Industriebeteiligung sollen die Ziele und das Nutzungskonzept vor dem Hintergrund des aktuellen Stands von Forschung und Technologie erläutert werden. Für die geplanten Investitionen muss eine überzeugende Begründung des wissenschaftlichen Neuigkeitsgrads der geplanten Nutzung vorgelegt und im Kontext der vorhandenen nationalen und europäischen Forschungsstrukturen dargestellt werden. Zusätzlich muss in dem Konzept der Industriebeteiligung die wissenschaftliche Exzellenz und künftige wirtschaftliche Relevanz im nationalen und internationalen Vergleich dargestellt werden. Ein Konzept für die Beteiligung der industriellen Partner kann als Anhang zur Skizze ausgeführt werden.

Der PT stellt eine dieser Gliederung folgende Vorlage für die Skizze unter folgender Internetadresse zur Verfügung:

https:/​/​www.elektronikforschung.de/​dateien/​bekanntmachungen/​formikro2.docx. 

Die Verwendung dieser Vorlage wird insbesondere Ersteinreichenden empfohlen, ist jedoch nicht vorgeschrieben. Es steht den Interessenten frei, weitere Punkte anzufügen, die ihrer Auffassung nach für eine Beurteilung ihres Vorschlags von Bedeutung sind. Es wird nachdrücklich empfohlen, vor der Einreichung der Projektskizze mit dem Projektträger VDI/​VDE Innovation + Technik GmbH Kontakt aufzunehmen.

Aus der Vorlage einer Projektskizze kann kein Anspruch auf Förderung abgeleitet werden. Die eingegangenen Projektskizzen stehen im Wettbewerb untereinander und werden nach den folgenden Kriterien bewertet:

–

fachlicher Bezug zu dieser Richtlinie;

–

strategische, technische, wirtschaftliche und gesellschaftliche Bedeutung einschließlich Aspekte der Nachhaltigkeit;

–

wissenschaftlich-technische Qualität des Lösungsansatzes;

–

Neuheit, wissenschaftliche Relevanz des angestrebten Forschungsthemas, -gebiets oder -ansatzes, Risiken und Breitenwirksamkeit des Konzepts, mögliche Ergebnisdemonstration;

–

Interesse und Beteiligung der Industrieunternehmen;

–

Hebelwirkung der jeweiligen Entwicklung für die industrielle Anwendung;

–

Verwertungskonzept und Verwertungspotenzial, Beitrag zur Stärkung der Innovationskraft der Unternehmen am Standort Deutschland oder dem EWR und der Schweiz sowie Einbettung in strategische Aktivitäten und weitere Investitionen der beteiligten Unternehmen;

–

wissenschaftliche Expertise der Einrichtungen im betrachteten Bereich;

–

Beteiligung, Einbindung und Stärkung von Nachwuchsgruppen;

–

Abgrenzung zur Förderung durch Dritte (zum Beispiel DFG-Projekte);

–

Konzept zum Umgang mit geistigem Eigentum;

–

Notwendigkeit und Angemessenheit der beantragten Mittel.

Zusammen mit der Projektskizze ist eine unterzeichnete Bestätigung der Kenntnisnahme sowie der Richtigkeit der in der Projektskizze gemachten Angaben durch Vertreter aller beteiligten Forschungseinrichtungen (in der Regel die Projektleitenden) als zusätzliche Anlage zur Projektskizze über easy-Online einzureichen.

Eine förmliche Kooperationsvereinbarung ist für die erste Verfahrensstufe (Projektskizze) noch nicht erforderlich. Jedoch sollten die Partner die Voraussetzungen dafür schaffen, bei Aufforderung zur förmlichen Antragstellung (zweite Verfahrensstufe, siehe Nummer 7.2.2) eine förmliche Kooperationsvereinbarung zeitnah zum Projektbeginn abschließen zu können.

Das BMBF behält sich vor, sich bei der Bewertung der vorgelegten Projektskizzen und bei seiner Auswahl durch unabhängige Expertinnen und Experten beraten lassen. Dies beinhaltet gegebenenfalls auch eine Präsentation durch die Skizzeneinreichenden vor dem Begutachtungsgremium und dem BMBF (Vortrag mit anschließender Fragerunde). Nähere Angaben zum Format folgen rechtzeitig vor dem Termin. Die Skizzeneinreichenden stellen die Folien ihres Vortrags dem BMBF im Nachgang zur Verfügung. Das Votum des Begutachtungsgremiums hat empfehlenden Charakter. Skizzeneinreichende haben die Möglichkeit, vorab bestimmte Gutachtende bzw. Organisationen auszuschließen. Das Begutachtungsgremium wird zur vertraulichen Behandlung aller erhaltenen Informationen verpflichtet.

Entsprechend der oben angegebenen Kriterien und Bewertung werden die für eine Förderung geeigneten Projektideen ausgewählt. Gegebenenfalls erfolgt diese Auswahl mit inhaltlichen oder förderrechtlichen Auflagen. Das Auswahl­ergebnis wird dem Koordinator des Verbunds schriftlich mitgeteilt, die weiteren Partner sind vom Koordinator zu informieren.

Die im Rahmen dieser Verfahrensstufe eingereichte Projektskizze und evtl. weitere vorgelegte Unterlagen werden nicht zurückgesendet. Aus der Vorlage der Projektskizze kann kein Anspruch auf Förderung abgeleitet werden.

7.2.2 Vorlage förmlicher Förderanträge und Entscheidungsverfahren (Verfahrensstufe 2)

In der zweiten Verfahrensstufe wird der bzw. werden die Verfasser der positiv bewerteten Projektskizzen unter Angabe detaillierter Informationen, der formalen Kriterien und eines Termins schriftlich aufgefordert, einen förmlichen Förderantrag vorzulegen. Dieser beinhaltet eine detaillierte Gesamt- und Teilvorhabenbeschreibung sowie die Arbeits-, Finanz-, Investitionsgüter- und Verwertungsplanung. Inhaltliche oder forschungsrechtliche Auflagen aus der ersten Verfahrensstufe sind dabei zu berücksichtigen und umzusetzen. Die Förderanträge der einzelnen Partner sind in Abstimmung mit dem vorgesehenen Verbundkoordinator vorzulegen. Aus der Aufforderung zur Antragstellung kann kein Förderanspruch abgeleitet werden. Zur Erstellung der förmlichen Förderanträge ist die Nutzung des elektronischen Antragssystems „easy-Online“ (unter Beachtung der in der Anlage genannten Anforderungen) erforderlich (https:/​/​foerderportal.bund.de/​easyonline/​). Den Link zur Antragstellung erhalten der bzw. die Verfasser des positiv bewerteten Investitionskonzepts per E-Mail.

Die Antragsunterlagen sind in deutscher Sprache einzureichen. Die fachlichen Teile sämtlicher Unterlagen, insbesondere von Gesamt- und Teilvorhabenbeschreibungen, können in englischer Sprache eingereicht werden; dies gilt ebenso für die fachlichen Teile von Projektberichten, für den Nachweis und die Prüfung der Verwendung.

Nach abschließender Prüfung der förmlichen Förderanträge entscheidet die Bewilligungsbehörde durch Bescheid über die Bewilligung der vorgelegten Anträge auf Basis der verfügbaren Haushaltsmittel und nach den folgenden sowie den in Nummer 2 (Gegenstand der Förderung) und in Nummer 7.2.1 genannten Kriterien:

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Konsistenz zur Skizze im Hinblick auf die in Nummer 7.2.1 genannten Kriterien;

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Grad der Beachtung und Umsetzung inhaltlicher oder förderrechtlicher Auflagen aus der ersten Verfahrensstufe;

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Grad der Angemessenheit der Organisation der Zusammenarbeit im Verbund für die Ziele des Vorhabens;

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geeignete Meilensteine mit Zielsetzungen und quantitativen, nachprüfbaren Kriterien;

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geeignete Vorschläge für Indikatoren entsprechend Nummer 1.2;

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ausreichende Begründung der Notwendigkeit staatlicher Förderung auf Basis der Darstellung wissenschaftlich-technischer Risiken;

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Qualität und Aussagekraft des Verwertungskonzepts, auch hinsichtlich der forschungspolitischen Zielsetzungen der Fördermaßnahme;

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Zuwendungsfähigkeit, Notwendigkeit und Angemessenheit der beantragten Mittel zur Durchführung der in dem Arbeitsplan aufgeführten Aktivitäten.

Aus der Vorlage eines förmlichen Förderantrags kann kein Anspruch auf eine Förderung abgeleitet werden. Es besteht ferner kein Anspruch auf Rückgabe eines eingereichten Förderantrags.

7.2.3 Zeitplan für den Auswahl- und Bewilligungsprozess

Für das in den Nummern 7.2.1 und 7.2.2 beschriebene Auswahl- und Entscheidungsverfahren gilt folgender Zeitplan:

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Die Skizzeneinreicher werden gegebenenfalls Mitte Juni 2023 zur Vorstellung der Projektskizze vor dem Be­gutachtungsgremium und dem BMBF eingeladen.

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Die Auswahl des Vorhabens anhand der Projektskizze erfolgt voraussichtlich bis Mitte Juli 2023.

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Nach erfolgreicher Qualifizierung erfolgt die Aufforderung zur Einreichung der formgebundenen Antragsunterlagen mit einer verbindlichen Einreichungsfrist von drei Wochen.

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Die Vollständigkeit aller Antragsunterlagen wird bis Ende August 2023 angestrebt.

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Die seitens Projektträger genannten Fristen für die Anforderung von Unterlagen und Nachforderungen sind verbindlich. Seitens der Antragstellenden verursachte Verzögerungen können zur Ablehnung von Anträgen und damit zum Ausschluss von der Förderung führen.

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Nach Vollständigkeit aller Antragsunterlagen wird eine Bewilligung der Vorhaben mit gemeinsamem Start Anfang Januar 2024 für alle geförderten Verbundvorhaben angestrebt.

7.3 Zu beachtende Vorschriften

Für die Bewilligung, Auszahlung und Abrechnung der Zuwendung sowie für den Nachweis und die Prüfung der Verwendung und die gegebenenfalls erforderliche Aufhebung des Zuwendungsbescheids und die Rückforderung der gewährten Zuwendung gelten die §§ 48 bis 49a des Verwaltungsverfahrensgesetzes, die §§ 23, 44 BHO und die hierzu erlassenen Allgemeinen Verwaltungsvorschriften, soweit nicht in dieser Förderrichtlinie Abweichungen von den Allgemeinen Verwaltungsvorschriften zugelassen worden sind. Der Bundesrechnungshof ist gemäß § 91 BHO zur Prüfung berechtigt.

7.4 Informationsveranstaltung

Eine Informationsveranstaltung zu dieser Förderrichtlinie findet am 8. Februar 2023 in Form eines Webinars statt. In dieser Informationsveranstaltung werden der Inhalt der Förderrichtlinie sowie Prozess und Verfahren der Antragstellung erläutert. Informationen zu dieser Veranstaltung erhalten Interessenten beim Projektträger bzw. online unter: https:/​/​www.elektronikforschung.de/​service/​aktuelles/​.

Diese Förderrichtlinie tritt am Tag nach Veröffentlichung im Bundesanzeiger in Kraft und ist bis zum Ablauf des 31. Dezember 2029 gültig.