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Bekanntmachung gemäß § 26 der Strahlenschutzverordnung – 5. Ergänzung zur Bauartzulassung mit dem Bauartzeichen BfS 01/07 S RöV

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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Bekanntmachung
gemäß § 26 der Strahlenschutzverordnung
5. Ergänzung zur Bauartzulassung mit dem Bauartzeichen BfS 01/​07 S RöV

Vom 19. September 2022

Gemäß den §§ 45 bis 47 des Strahlenschutzgesetzes vom 27. Juni 2017 (BGBl. I S. 1966), das zuletzt durch die Bekanntmachung vom 3. Januar 2022 (BGBI. I S. 15) geändert worden ist, und den §§ 24 bis 26 der Strahlenschutzverordnung (StrlSchV) vom 29. November 2018 (BGBl. I S. 2034, 2036; 2021 I S. 5261), die zuletzt durch Artikel 1 der Verordnung vom 8. Oktober 2021 (BGBI. I S. 4645) geändert worden ist, wird die Bauzulassung wie folgt ergänzt:

Bezeichnung der Vorrichtung: Elektronenstrahlbelichtungsanlage
als Störstrahler (gemäß § 17 StrlSchV)
Typ/​Firmenbezeichnung: SB3050, SB3054, SB3054 DW, SB352HR, SB3050-2
Inhaber der Zulassung/​
Hersteller der Vorrichtung:
Vistec Electron Beam GmbH
Ilmstraße 4
07743 Jena
Zugelassene Verwendung: zur Halbleiterlithografie zugelassen
Befristung der Zulassung: 24. Januar 2027

Die Ergänzung der Bauartzulassung umfasst folgende Punkte:

Änderungen an der Strahlenblende, außen am Zwischentubus 1 und 2, an den Formatblendentuben, an den Formatblenden, im Zwischentubus 1 bis 4, an der Aperturblende, an der Linse L6 und an der Kammer 300 mm 2015.

Eine zusätzliche Gerätevariante mit der Typenbezeichnung SB3050-2 wurde neu aufgenommen.

Braunschweig, den 19. September 2022

GZ 7/​21 S StrlSchG_​2021_​04

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Im Auftrag
Pullner

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